超純水機品質(zhì)的主要體現(xiàn)在超純水水質(zhì)方面。與超純水相磁的術(shù)語主要有:電阻率、電導率、總有機碳量、微粒子、熱源、微生物等。它們也是超純水水質(zhì)檢測依據(jù)。
電阻率(resistivity)是用來表示各種物質(zhì)電阻特性的物理量,與溫度有關(guān)。單位是Ω·m或Ω.cm,超純水中常用ΜΩ.cm。電阻率是超純水中電解質(zhì)含量的體現(xiàn)之一。通常,電阻率越大,超純水純度越高。
電導率:其物理學概念是在介質(zhì)中該量與電場強度之積等于傳導電流密度。對于各向同性介質(zhì),電導率是標量;對于各向異性介質(zhì),電導率是張量。通俗說,電導率是指物質(zhì)傳導電流的能力。單位是西門子每米(S/m)或μS/cm,超純水技術(shù)指標中用μS/cm表示。水的導電性和水的電阻成倒數(shù)關(guān)系。水的電導率和電阻率主要受水中所含帶電離子影響。
自然水中除了含有帶電離子,還有其它多種雜質(zhì)。有機物主要用總有機碳量表示。
總有機碳量(TOC)(或總有機碳)是以碳的含量表示有機物總量的一個指標?傆袡C碳量檢測方法有很多種,艾柯超純水機具有總有機碳量在線檢測功能。