電鏡隔振方案

近日，我司工程師赴上海及遵義為客戶安裝調試掃描隧道顯微鏡（STM）和掃描電鏡(SEM)的隔振，經過HERZ AVI 200隔振后，STM和SEM方可正常運行，放大倍數(shù)達到20-30萬倍，極大地提高了其圖像的穩(wěn)定性，客戶對此深表滿意。

HERZ的AVI 200主動隔振臺是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設備產生的不必要振動，以提高精密設備的性能，具有卓越的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz，被動隔振頻率>200Hz，其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設備中，主動檢測輸入振動并動態(tài)消除；允許自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸和配置，可通過增加隔振模塊的數(shù)量來支持更大的儀器載重量。安裝簡單，易操作，穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年。

廣州市固潤光電科技有限公司