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國(guó)儀量子電鏡在3D NAND存儲(chǔ)孔道垂直度測(cè)量中的應(yīng)用報(bào)告

瀏覽次數(shù):167 發(fā)布日期:2025-3-24  來源:本站 僅供參考,謝絕轉(zhuǎn)載,否則責(zé)任自負(fù)
國(guó)儀量子電鏡在 3D NAND 存儲(chǔ)孔道垂直度測(cè)量的應(yīng)用報(bào)告
一、背景介紹
在當(dāng)今數(shù)字化信息爆炸的時(shí)代,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)需求呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)。3D NAND 存儲(chǔ)技術(shù)憑借其高存儲(chǔ)密度、低能耗以及良好的讀寫性能,成為滿足海量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)需求的關(guān)鍵技術(shù),廣泛應(yīng)用于固態(tài)硬盤(SSD)、手機(jī)存儲(chǔ)以及企業(yè)級(jí)數(shù)據(jù)中心等領(lǐng)域。

在 3D NAND 存儲(chǔ)芯片的制造過程中,孔道是實(shí)現(xiàn)存儲(chǔ)單元連接和信號(hào)傳輸?shù)闹匾Y(jié)構(gòu)。孔道的垂直度對(duì)存儲(chǔ)芯片的性能起著決定性作用。理想的垂直孔道能夠確保存儲(chǔ)單元之間的精準(zhǔn)連接,減少信號(hào)傳輸?shù)钠詈透蓴_,提高數(shù)據(jù)讀寫的準(zhǔn)確性和速度。若孔道垂直度出現(xiàn)偏差,會(huì)導(dǎo)致存儲(chǔ)單元連接錯(cuò)位,增加信號(hào)傳輸路徑的長(zhǎng)度和復(fù)雜性,引發(fā)信號(hào)衰減、串?dāng)_等問題,降低存儲(chǔ)芯片的可靠性和存儲(chǔ)密度?椎来怪倍仁芄饪、刻蝕等多種制造工藝參數(shù)的綜合影響,如光刻曝光劑量的均勻性、刻蝕氣體的流量和壓力等。因此,精準(zhǔn)測(cè)量 3D NAND 存儲(chǔ)孔道的垂直度,對(duì)優(yōu)化制造工藝、提高存儲(chǔ)芯片質(zhì)量、推動(dòng)存儲(chǔ)技術(shù)發(fā)展至關(guān)重要。

二、電鏡應(yīng)用能力
(一)微觀結(jié)構(gòu)成像
國(guó)儀量子 SEM3200 電鏡具備高分辨率成像能力,能夠清晰呈現(xiàn) 3D NAND 存儲(chǔ)孔道的微觀結(jié)構(gòu)?删_觀察到孔道的形狀,判斷其是否為規(guī)則的圓柱形或存在變形;呈現(xiàn)孔道壁的表面特征,確定是否有粗糙、凹凸不平等情況。通過對(duì)微觀結(jié)構(gòu)的細(xì)致成像,為準(zhǔn)確測(cè)量孔道垂直度提供清晰的圖像基礎(chǔ)。例如,清晰的孔道輪廓成像有助于確定測(cè)量垂直度的基準(zhǔn)線。

(二)孔道垂直度測(cè)量
借助 SEM3200 配套的圖像分析軟件,能夠?qū)?3D NAND 存儲(chǔ)孔道的垂直度進(jìn)行精確測(cè)量。在圖像上選取合適的測(cè)量點(diǎn),通過軟件算法計(jì)算孔道軸線與參考平面的夾角,從而得出孔道的垂直度偏差。對(duì)不同位置的多個(gè)孔道進(jìn)行測(cè)量統(tǒng)計(jì),分析孔道垂直度的一致性。例如,計(jì)算垂直度偏差的平均值、標(biāo)準(zhǔn)差等統(tǒng)計(jì)量,評(píng)估孔道垂直度的均勻性。精確的孔道垂直度測(cè)量為工藝優(yōu)化提供量化數(shù)據(jù)支持,有助于判斷制造工藝是否滿足設(shè)計(jì)要求。

(三)垂直度與工藝參數(shù)關(guān)聯(lián)研究
SEM3200 獲取的孔道垂直度數(shù)據(jù),結(jié)合實(shí)際 3D NAND 存儲(chǔ)芯片制造工藝參數(shù),能夠輔助研究孔道垂直度與工藝參數(shù)之間的關(guān)聯(lián)。通過對(duì)不同工藝條件下孔道垂直度的對(duì)比分析,確定哪些工藝參數(shù)的變化對(duì)孔道垂直度影響顯著。例如,發(fā)現(xiàn)刻蝕時(shí)間的延長(zhǎng)或縮短會(huì)導(dǎo)致孔道垂直度發(fā)生明顯變化,為優(yōu)化制造工藝參數(shù)提供依據(jù),以實(shí)現(xiàn)對(duì) 3D NAND 存儲(chǔ)孔道垂直度的精準(zhǔn)控制。

三、產(chǎn)品推薦

 
國(guó)儀量子 SEM3200 鎢燈絲掃描電鏡是 3D NAND 存儲(chǔ)孔道垂直度測(cè)量的理想設(shè)備。它具有良好的分辨率,能清晰捕捉到 3D NAND 存儲(chǔ)孔道微觀結(jié)構(gòu)的細(xì)微特征和垂直度變化。操作界面人性化,配備自動(dòng)功能,大大降低了操作難度,即使經(jīng)驗(yàn)不足的研究人員也能快速上手,高效完成測(cè)量任務(wù)。設(shè)備性能穩(wěn)定可靠,長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作仍能確保檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性與重復(fù)性。憑借這些優(yōu)勢(shì),SEM3200 為 3D NAND 存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)提供了有力的技術(shù)支撐,助力優(yōu)化制造工藝、提高存儲(chǔ)芯片質(zhì)量,推動(dòng)存儲(chǔ)技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展。
來源:國(guó)儀量子(合肥)技術(shù)有限公司
聯(lián)系電話:17756583348
E-mail:ljs@ciqtek.com

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